真空密封装置和真空密封装置的运转方法
摘要:
真空密封装置包括:外筒部(501B),其具有前端面,该前端面能够与容器的外表面气密地抵接以覆盖真空密封的容器的排气孔;和主体部(501A),其在外筒部(501B)的轴心延伸的方向上可进退地设置于外筒部(501B)内。另外,真空密封装置包括:驱动器(503),其能够使外筒部(501B)和主体部(501A)在外筒部(501B)的轴心延伸的方向上进退;和用于对主体部(501A)的前端部(51)进行加热的加热器(504)。在主体部(501A)的前端部(51)的外周面与外筒部(501B)的内周面之间,形成有与外筒部(501B)的前端面连通的排气空间(58)。
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