发明授权
- 专利标题: 用于确定物体的高度位置的方法
-
申请号: CN201680081444.X申请日: 2016-12-13
-
公开(公告)号: CN108700732B公开(公告)日: 2019-10-11
- 发明人: 尼尔斯·兰厚哲 , 维克多·德雷舍尔
- 申请人: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- 申请人地址: 德国耶拿
- 专利权人: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- 当前专利权人: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- 当前专利权人地址: 德国耶拿
- 代理机构: 北京市创世宏景专利商标代理有限责任公司
- 代理商 崔永华
- 优先权: 102016103736.2 2016.03.02 DE
- 国际申请: PCT/EP2016/080771 2016.12.13
- 国际公布: WO2017/148555 DE 2017.09.08
- 进入国家日期: 2018-08-09
- 主分类号: G02B21/00
- IPC分类号: G02B21/00 ; G01B11/22 ; G01B11/24
摘要:
本发明涉及一种方法,该方法用于通过显微镜(10)在物体(12)的横向第一位置处确定物体(12)的高度位置,显微镜沿与物体的高度方向对应的z方向利用点扩散函数对物体(12)成像,包括以下步骤:在宽视场中用显微镜(10)对物体(12)成像并确定宽视场强度,通过将宽视场强度(IW)与预定比例因子相乘来计算第一位置处的预期最大强度,在第一位置对物体(12)部分共焦地成像,其中焦点位于景深范围内的z方向的测量位置,并确定第一位置处的部分共焦成像的部分共焦强度,通过在部分共焦强度和宽视场强度与预定的链接因子的乘积之间形成差值来计算(第一位置处的)对应于点扩散函数的强度,使用之前已知的点扩散函数的形式、已算出的对应于点扩散函数的强度以及已算出的预期最大强度,计算点扩散函数取最大值时所处的焦点的z坐标,并使用该z坐标作为物体(12)在第一位置处的高度位置。
公开/授权文献
- CN108700732A 用于确定物体的高度位置的方法 公开/授权日:2018-10-23