发明授权
- 专利标题： 可低温固化的负型感光性组合物
-
申请号： CN201780011950.6申请日： 2017-01-20
-
公开(公告)号： CN108700814B公开(公告)日： 2022-10-11
- 发明人: 三角元希 , 横山大志 , 谷口克人 , 九泽昌祥
- 申请人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司
- 申请人地址： 卢森堡国卢森堡市
- 专利权人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司
- 当前专利权人： 默克专利有限公司
- 当前专利权人地址： 德国达姆施塔特
- 代理机构： 北京三幸商标专利事务所
- 代理商 刘卓然
- 优先权： 2016-030242 20160219 JP
- 国际申请： PCT/EP2017/000071 2017.01.20
- 国际公布： WO2017/140409 EN 2017.08.24
- 进入国家日期： 2018-08-17
- 主分类号： G03F7/075
- IPC分类号： G03F7/075 ; G03F7/027 ; G03F7/038 ; G03F7/40
摘要：
提供一种负型感光性组合物，所述负型感光性组合物可低温固化，并且可获得透明性、耐化学品性、耐环境性高的固化膜，还提供使用该组合物的图案形成方法。本发明提供一种负型感光性组合物，其包含：碱可溶性树脂、具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基的化合物、聚硅氧烷、聚合引发剂、以及溶剂，所述碱可溶性树脂是含有包含羧基的聚合单元与包含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的聚合物。
公开/授权文献
- CN108700814A 可低温固化的负型感光性组合物 公开/授权日：2018-10-23
IPC分类:
