四氯化锆合成气的净化装置及方法
摘要:
本发明公开了一种四氯化锆合成气的净化装置及方法,该装置包括:储硅器,用于存储硅,向储硅器内通入氯化法制备四氯化锆得到的四氯化锆合成气,储硅器中的硅与四氯化锆合成气中的氯气反应生成四氯化硅,除去四氯化锆合成气中的氯气,得到第一合成气;第一冷却器,与储硅器连接,第一冷却器用于将第一合成气降温冷却析出固体四氯化锆,得到第二合成气;第二冷却器,与第一冷却器连接,第二冷却器用于将第二合成气降温冷却析出液体四氯化硅,得到尾气。通过化学反应的方法除去合成气中的氯气,简化了四氯化锆合成气的分离工艺,降低了分离设备的要求,降低分离成本,除氯气的同时生成的四氯化硅可继续用于多晶硅的生产,使得氯元素得到了回收利用。
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