发明公开
CN108728790A AMOLED用金属掩膜板的制造方法
无效 - 驳回
- 专利标题: AMOLED用金属掩膜板的制造方法
- 专利标题(英): Manufacturing method of metal mask for AMOLED
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申请号: CN201710263831.1申请日: 2017-04-21
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公开(公告)号: CN108728790A公开(公告)日: 2018-11-02
- 发明人: 邵仁锦 , 陈林森 , 浦东林 , 周小红 , 张瑾 , 李晓伟 , 谢文
- 申请人: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 , 苏州维业达触控科技有限公司 , 苏州大学
- 申请人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区苏虹东路北钟南街478号
- 专利权人: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司,苏州维业达触控科技有限公司,苏州大学
- 当前专利权人: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司,苏州维业达触控科技有限公司苏州大学
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区苏虹东路北钟南街478号
- 代理机构: 上海波拓知识产权代理有限公司
- 代理商 杨波
- 主分类号: C23C14/04
- IPC分类号: C23C14/04 ; C23C14/24 ; C23C14/12 ; C25D1/10
摘要:
一种AMOLED用金属掩膜板的制造方法,包括步骤:选取导电基板;在导电基板的表面涂布一层光刻胶;使光刻胶光刻出与金属掩膜板的蒸镀孔相对应的光刻胶图形,但光刻出的光刻胶图形的尺寸大于金属掩膜板的蒸镀孔的设计尺寸;在带有光刻胶图形的导电基板上进行电铸过生长,使金属材料的生长厚度大于光刻胶图形的厚度,金属材料同时将光刻胶图形的四周边缘覆盖,直至光刻胶图形未被金属材料覆盖的开口区域的尺寸与金属掩膜板的蒸镀孔的设计尺寸一致;去除导电基板上残留的光刻胶。上述金属掩膜板的制造方法只需要一次图形光刻和电铸工艺便可加工成型,工艺简单,成本低廉,而且是通过在带有光刻胶图形的导电基板上电铸过生长出金属掩膜板,因此精度更高。
IPC分类: