集成化的小型NV色心固态磁强计及制作工艺
摘要:
本发明属于固态原子磁强计领域和微纳加工制造领域,特别是公开了一种集成化的小型NV色心固态磁强计及其制作工艺,本发明对含有NV色心的块状金刚石进行聚合物封装,形成共振微腔体,同时,将ODMR测试的相关功能器件,包括激光二极管、微波天线和干涉截止滤波片,通过微组装工艺进行集成,该集成化系统将金刚石和微波天线都集成到共振腔体内,激光二极管置于金刚石顶端用于直接产生532nm波长的激光,激发金刚石内部的NV色心产生荧光,该系统能够更好的囚禁532激光,使其在腔体内部多次进行全反射,且将微波天线与金刚石同时包裹在腔体内,高效的收集激发荧光信号。运用这套集成化腔增强磁测量系统能进行高灵敏度磁测量。
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