一种弱耦合谐振式传感器的线性化输出检测方法
Abstract:
本发明涉及一种基于模态局部化的弱耦合谐振式传感器的线性化输出检测方法,属于微机电系统(MEMS)领域。该方法具体操作时包括如下步骤:步骤一:判断双谐振器为同相驱动或反相驱动状态,如为同相驱动,则选取一阶模态作为工作模态,如为反相驱动,则选取二阶模态作为工作模态;步骤二:检测两谐振器的振幅差(|X1(jω)‑X2(jω)|),得到振幅差与待检测量之间的关系。本发明提出了一种基于模态局部化的弱耦合谐振式传感器的线性化输出方法,其采用了双谐振器驱动条件下的两个谐振器振幅差而不是振幅比作为传感器输出,其首次实现了弱耦合谐振式传感器的在分离点两侧的输出线性化。
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