半导体光器件和其制造方法
Abstract:
本发明提供具有比以往优异的光提取效率或光吸收效率且降低了布线电极部的剥离率的半导体光器件和其制造方法。在本发明的半导体光器件中,在半导体层(110)的成为发光面或受光面的表面设有布线电极部(120),布线电极部(120)的线宽(W1)为2μm以上且为5μm以下,布线电极部(120)具有形成于半导体层(110)上的金属层(121)和形成于金属层(121)上的导电性硬质膜(122),导电性硬质膜(122)的硬度高于金属层(121)的硬度。
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