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等离子发生装置
Abstract:
在等离子发生装置中,反应室(140)被划分为用于供一对电极插入的一对插入部(106)和连接该一对插入部的连结部(108)。并且,连结部被设为宽度比一对插入部的宽度窄。因此,沿连结部的全部区域及从插入部与连结部连续的壁面产生放电。另外,连结部被设为宽度比插入部的宽度窄,从而连结部的容积较小。因此,较小容积的处理气体沿连结部的全部区域及从插入部与连结部连续的壁面被等离子化,从而处理气体被高效地等离子化。另外,一对插入部各自与连结部的连结部位分别被设为圆滑面(110)。由此,因放电产生的热量在整个圆滑面上分散,因放电产生的碳化被抑制。
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