Invention Publication
- Patent Title: 等离子发生装置
- Patent Title (English): PLASMA GENERATOR
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Application No.: CN201680083474.4Application Date: 2016-03-14
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Publication No.: CN108781499APublication Date: 2018-11-09
- Inventor: 神藤高广 , 池户俊之
- Applicant: 株式会社富士
- Applicant Address: 日本爱知县知立市
- Assignee: 株式会社富士
- Current Assignee: 株式会社富士
- Current Assignee Address: 日本爱知县知立市
- Agency: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- Agent 穆德骏; 安翔
- International Application: PCT/JP2016/057934 2016.03.14
- International Announcement: WO2017/158671 JA 2017.09.21
- Date entered country: 2018-09-12
- Main IPC: H05H1/32
- IPC: H05H1/32
Abstract:
在等离子发生装置中,反应室(140)被划分为用于供一对电极插入的一对插入部(106)和连接该一对插入部的连结部(108)。并且,连结部被设为宽度比一对插入部的宽度窄。因此,沿连结部的全部区域及从插入部与连结部连续的壁面产生放电。另外,连结部被设为宽度比插入部的宽度窄,从而连结部的容积较小。因此,较小容积的处理气体沿连结部的全部区域及从插入部与连结部连续的壁面被等离子化,从而处理气体被高效地等离子化。另外,一对插入部各自与连结部的连结部位分别被设为圆滑面(110)。由此,因放电产生的热量在整个圆滑面上分散,因放电产生的碳化被抑制。
Public/Granted literature
- CN108781499B 等离子发生装置 Public/Granted day:2020-09-29
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IPC分类: