一种维持动态压力的电负性气体喷射装置
摘要:
本发明公开了一种维持动态压力的电负性气体喷射装置,包括气压维持仓,气压维持仓内设有活塞,活塞与螺杆传动装置连接,螺杆传动装置与步进电机连接,气压维持仓设有注气口、出气口和气压表,注气口和出气口分别设有电磁阀控制。气压维持仓设有活塞位置检测装置。气压表、电磁阀控制、步进电机的控制单元和活塞位置检测装置分别与控制系统连接。出气口与产生等离子体的真空室相连,注气口与电负性气体气瓶相连,能够动态维持气压,维持电负性气体释放速度稳定,从而保证物理实验结果的精确性。解决了电负性气体释放中气压不断下降的问题。
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