用于激光斑点尺寸连续可调高倍聚焦光路系统及调节方法
摘要:
本发明属于激光聚焦剥蚀、激发、电离光路系统领域,涉及一种用于激光斑点尺寸连续可调高倍聚焦光路系统,适用于激光光谱仪、激光质谱仪、激光电感耦合等离子体光谱或质谱仪。所述光路系统按光束的传播轨迹顺序包括扩束透镜组、机械光阑、调谐透镜组、高倍聚焦透镜组和窗片;其光学总长度为350~700mm,后截距20~200mm,镜片外径20~25.4mm,聚焦倍数大于25。本发明扩束透镜组对激光进行两倍扩束,利于后续实现高倍聚焦,通过改变调谐透镜组的透镜间距离,固定机械光阑尺寸,可以改变激光的发散角,获得不同激光斑点尺寸;改变机械光阑孔径,固定调谐透镜组的透镜间距离,经详细的理论计算和实际误差修复,获得不同激光斑点尺寸,聚焦光斑可调范围为5μm~600μm。
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