发明公开
- 专利标题: 用于激光斑点尺寸连续可调高倍聚焦光路系统及调节方法
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申请号: CN201810730497.0申请日: 2018-07-05
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公开(公告)号: CN108828782A公开(公告)日: 2018-11-16
- 发明人: 贾云海 , 刘佳 , 徐鹏 , 史孝侠 , 申睿 , 李晓鹏
- 申请人: 钢研纳克检测技术股份有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区高粱桥斜街13号
- 专利权人: 钢研纳克检测技术股份有限公司
- 当前专利权人: 钢研纳克检测技术股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区高粱桥斜街13号
- 代理机构: 北京中安信知识产权代理事务所
- 代理商 李彬; 张小娟
- 主分类号: G02B27/09
- IPC分类号: G02B27/09 ; G02B27/48
摘要:
本发明属于激光聚焦剥蚀、激发、电离光路系统领域,涉及一种用于激光斑点尺寸连续可调高倍聚焦光路系统,适用于激光光谱仪、激光质谱仪、激光电感耦合等离子体光谱或质谱仪。所述光路系统按光束的传播轨迹顺序包括扩束透镜组、机械光阑、调谐透镜组、高倍聚焦透镜组和窗片;其光学总长度为350~700mm,后截距20~200mm,镜片外径20~25.4mm,聚焦倍数大于25。本发明扩束透镜组对激光进行两倍扩束,利于后续实现高倍聚焦,通过改变调谐透镜组的透镜间距离,固定机械光阑尺寸,可以改变激光的发散角,获得不同激光斑点尺寸;改变机械光阑孔径,固定调谐透镜组的透镜间距离,经详细的理论计算和实际误差修复,获得不同激光斑点尺寸,聚焦光斑可调范围为5μm~600μm。