大口径光学系统近场检测装置及其测量方法
摘要:
大口径光学系统近场检测装置及其测量方法,由准直镜、微透镜阵列和探测器组成夏克哈特曼波前测量装置,其特征在于,在被测量目标的前方放置有点光源阵列作为测量信标,在被测目标的焦点前放置有分光镜和定标点光源,焦点后依次放置有准直镜、微透镜阵列和探测器;由点光源阵列、测量目标、分光镜和定标点光源组成系统自检光路;由点光源阵列、测量目标、分光镜、准直镜、微透镜阵列和探测器组成测量光路。本发明以三级像差在入瞳位置上的相关性为理论基础,以近场点光源阵列为测量信标,实现了大口径光学系统的近场检测,可以广泛用于大型光学系统的室内以及无信标等特殊条件下的检测。
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