发明授权
摘要:
本发明公开了一种一维快速控制反射镜,包括反射镜片、外框架、位移放大机构和叠堆型压电陶瓷执行器,外框架为一体成型结构,包括横向底板、两块纵向侧板、横梁和两个镜架,镜架通过第一柔性铰链与纵向侧板连接,镜架通过第一柔性连接件与横梁的端部连接,位移放大机构与横梁、横向底板固定连接,反射镜片的端部固定连接在镜架上;反射镜还包括电容式微位移传感器,电容式微位移传感器包括反映反射镜片转动偏摆的动极板和第一、第二定极板组件,第一定极板组件与第二定极板组件相互平行的固定在传感器支架上,且分别位于所述旋转轴线下方两侧,传感器支架固定连接在两块纵向侧板的上安装面上。该反射镜能提高抗振动和抗冲击能力。
公开/授权文献
- CN108873319A 一维快速控制反射镜 公开/授权日:2018-11-23