发明授权
- 专利标题： 带电粒子束装置及其控制方法
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申请号： CN201680066784.5申请日： 2016-11-29
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公开(公告)号： CN108885962B公开(公告)日： 2020-08-14
- 发明人: 砂押毅志 , 生赖义久 , 波多野治彦 , 水尾考志
- 申请人： 株式会社日立高新技术
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人： 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 曾贤伟; 范胜杰
- 优先权： PCT/JP2015/084360 2015.12.08 JP
- 国际申请： PCT/JP2016/085325 2016.11.29
- 国际公布： WO2017/098958 JA 2017.06.15
- 进入国家日期： 2018-05-15
- 主分类号： H01J37/20
- IPC分类号： H01J37/20 ; H01J37/28
摘要：
一种带电粒子束装置，其可以在使用制冷剂的真空应用装置内的冷却部中维持温度。该带电粒子束装置具备：冷却箱(1)，其收纳对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)；冷却管(6)，其将制冷剂(2)从冷却箱(1)供给至冷却部(5)；以及在制冷剂(2)偏向于固体的情况下，引导该制冷剂(2)液化的单元。
公开/授权文献
- CN108885962A 带电粒子束装置及其控制方法 公开/授权日：2018-11-23
