本发明公开一种硅片的固定结构，包括底座；凹槽，其设置于该底座其中一端面，其包括具有第一、二侧壁；第一凹腔，其设置于底座具有凹槽的那端面位于第一侧壁侧的位置，其与凹槽连通，其包括位于第一侧壁同侧的第一面；第二凹腔，其设置于底座具有该凹槽的那端面位于第二侧壁侧的位置，其与该凹槽连通，其包括位于该第二侧壁同侧的第二面；镍片，其一端伸入第一凹腔内并与该第一面固定连接，其弯折将硅片压紧于该凹槽的底面，其另一端伸入该第二凹腔内并与该第二面固定；硅片被夹持于第一、二侧壁之间；该硅片的两端与该凹槽的底面之间用镍丝通过激光焊点焊连接。它能够稳定地将硅片装配固定于底座。还公开硅片的固定方法和X射线管的阴极部件。