一种兼顾点面目标的多功能波前探测装置
摘要:
本发明公开了一种兼顾点面目标的多功能波前探测装置,通过将点光源与面光源相结合,将点目标夏克‑哈特曼法波前探测器光路、面目标相关夏克‑哈特曼法波前探测光路、面目标相位差法波前探测光路整合在一起,通过变形镜面形产生各种静态或动态的像差,用点目标夏克‑哈特曼法波前探测器探测的波前信息对相关夏克‑哈特曼法与相位差法两种面目标波前探测器的波前探测精度和性能进行评测与校准。本发明具有集成度高、功能多样、操作简单、性能可靠、精度较高、易于对比检校等优点,是进行点面目标复合波前探测的有效装置。
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