本发明涉及一种电力用油光伏转换微波再生装置的处理方法，将待处理电力用油打入压滤机，压滤机将电力用油中所含机械杂质除去，压滤后的电力用油进入微波屏蔽再生室，开启微波器发射微波，由于电力用油为非极性或极性小物质，而电力用油中所含水分为极性物质，微波穿透非极性的电力用油，选择性地对电力用油中所含水分子进行剧烈振荡加热脱除，由微波屏蔽再生室流出的携带水汽的电力用油以薄膜状进入抽真空室，在真空状态下水分和夹带的水汽由真空泵抽走，当抽真空工作完成后，开启泄真空阀，将抽真空室内真空状态破坏，恢复常压后，才能关机。与现有技术相比，本发明可实现安全、高效、快速、环保在线滤油目的。