发明公开
- 专利标题: 玻璃蚀刻装置和玻璃蚀刻方法
- 专利标题(英): ETCHING APPARATUS AND ETCHING METHOD FOR GLASS
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申请号: CN201810263673.4申请日: 2018-03-28
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公开(公告)号: CN108975718A公开(公告)日: 2018-12-11
- 发明人: 金承 , 朴峻亨 , 朴正佑 , 廉宗勳 , 金胜镐 , 李会官
- 申请人: 三星显示有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
- 代理商 王达佐; 刘铮
- 优先权: 10-2017-0068607 2017.06.01 KR
- 主分类号: C03C15/00
- IPC分类号: C03C15/00
摘要:
根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置包括台、喷嘴部和至少一个第一加热单元,其中,台提供布置玻璃衬底的安置面,喷嘴部与所述台相对并且在朝向台的方向上喷射蚀刻溶液,其中玻璃衬底置于喷嘴部与台之间,并且至少一个第一加热单元对台的一部分进行加热,其中,台包括第一部分和第二部分,其中,第一部分具有第一平均温度,并且第二部分与第一部分连接并具有低于第一平均温度的第二平均温度,其中,第一加热单元与第一部分重叠以对第一部分进行加热。
公开/授权文献
- CN108975718B 玻璃蚀刻装置和玻璃蚀刻方法 公开/授权日:2022-07-05