蒸镀膜层记录装置及其方法、掩模板组件和蒸镀设备
摘要:
提供一种蒸镀膜层记录装置及其方法、掩模板组件和蒸镀设备。所述蒸镀膜层记录装置包括:记录掩模板,具有开口部;膜层记录构件,与所述记录掩模板相对设置,在蒸镀期间,蒸镀材料能够通过所述记录掩模板的开口部而被沉积在所述膜层记录构件上;和驱动构件,用于驱动所述记录掩模板与所述膜层记录构件产生相对运动,以改变所述记录掩模板的开口部在所述膜层记录构件上的正投影的位置。
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