发明授权
- 专利标题: 一种气体检测装置及方法
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申请号: CN201810633853.7申请日: 2018-06-20
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公开(公告)号: CN108982397B公开(公告)日: 2019-11-05
- 发明人: 宾峰 , 康润宁 , 魏小林
- 申请人: 中国科学院力学研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区北四环西路15号
- 专利权人: 中国科学院力学研究所
- 当前专利权人: 中国科学院力学研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区北四环西路15号
- 代理机构: 北京和信华成知识产权代理事务所
- 代理商 胡剑辉
- 主分类号: G01N21/3504
- IPC分类号: G01N21/3504 ; G01N27/62
摘要:
本发明提供了提供一种能够实时在线追踪监测高真空、高温高压条件下的表面反应,并进行定性定量精确化测量的原位红外反应池‑质谱仪联用的气体检测装置及方法,通过六通真空腔将原位反应池与质谱仪有机地联系起来,通过在线切换气体流路,保证反应系统的高压与高真空条件,在不影响表面反应正常进行的情况下,可实现质谱仪单用、原位反应池单用、原位反应池‑质谱仪联用功能,可实现气体产物高真空下的定性定量检测,同时实时在线精确测得反应物、中间产物及终产物的变化历程,实现反应定性定量分析,有效提高对表面反应机理的精确描述。
公开/授权文献
- CN108982397A 一种气体检测装置及方法 公开/授权日:2018-12-11
IPC分类: