一种气体检测装置及方法
摘要:
本发明提供了提供一种能够实时在线追踪监测高真空、高温高压条件下的表面反应,并进行定性定量精确化测量的原位红外反应池‑质谱仪联用的气体检测装置及方法,通过六通真空腔将原位反应池与质谱仪有机地联系起来,通过在线切换气体流路,保证反应系统的高压与高真空条件,在不影响表面反应正常进行的情况下,可实现质谱仪单用、原位反应池单用、原位反应池‑质谱仪联用功能,可实现气体产物高真空下的定性定量检测,同时实时在线精确测得反应物、中间产物及终产物的变化历程,实现反应定性定量分析,有效提高对表面反应机理的精确描述。
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