发明授权
- 专利标题： 一种激光驱动飞片靶结构及其制备方法
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申请号： CN201811073558.7申请日： 2018-09-14
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公开(公告)号： CN108994448B公开(公告)日： 2020-10-16
- 发明人: 高原 , 王亮 , 覃文志 , 李勇 , 吉祥波 , 唐舵
- 申请人： 中国工程物理研究院化工材料研究所
- 申请人地址： 四川省绵阳市绵山路64号
- 专利权人： 中国工程物理研究院化工材料研究所
- 当前专利权人： 中国工程物理研究院化工材料研究所
- 当前专利权人地址： 四川省绵阳市绵山路64号
- 代理机构： 四川省成都市天策商标专利事务所
- 代理商 刘兴亮
- 主分类号： B23K26/00
- IPC分类号： B23K26/00 ; C23C14/28
摘要：
本发明公开了一种激光驱动飞片靶结构及其制备方法，所述飞片靶包括依次设置的光学窗口层、烧蚀层和飞片层，所述烧蚀层设置在所述光学窗口层和所述飞片层之间，所述烧蚀层的材料为铝与镁、钛、锗中任意一种金属组成的二元合金，在光学窗口上先沉积合金薄膜材料作为飞片靶的烧蚀层，然后沉积或粘接单金属铝作为飞片层。本发明解决了传统铝飞片靶对激光能量利用率低的问题，有利于实现该技术的广泛使用。
公开/授权文献
- CN108994448A 一种激光驱动飞片靶结构及其制备方法 公开/授权日：2018-12-14