本发明公开了基于PSD的法布里珀罗标准具微位移测量系统的线性度比对装置和方法。本发明中支架一端固定在光学平台上，F-P标准具干涉测量系统放置在其上方；面阵器件布置在F-P标准具干涉测量系统前且处于同一光轴中用于干涉成像；激光器、扩束镜、聚焦透镜处在同一光轴中，激光光束在悬臂梁上发生反射后由PSD接收，应力加载系统改变应力F的大小。用F-P标准具干涉测量系统和PSD计算相应的位移量，通过对二者线性度曲线的比较完成F-P标准具微位移测量系统的线性度比对。本发明具有检测精度高，可以同步完成两个方法的测量，适用于高准确度微位移测量系统的线性度比对。