发明授权
- 专利标题: 一种芯片出厂检验装置
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申请号: CN201810891363.7申请日: 2018-08-07
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公开(公告)号: CN109003924B公开(公告)日: 2023-08-15
- 发明人: 崔超 , 林伟斌 , 匡晓云 , 杨祎巍 , 李舟
- 申请人: 南方电网科学研究院有限责任公司 , 中国南方电网有限责任公司
- 申请人地址: 广东省广州市萝岗区科学城科翔路11号J1栋3、4、5楼及J3栋3楼;
- 专利权人: 南方电网科学研究院有限责任公司,中国南方电网有限责任公司
- 当前专利权人: 南方电网科学研究院有限责任公司,中国南方电网有限责任公司
- 当前专利权人地址: 广东省广州市萝岗区科学城科翔路11号J1栋3、4、5楼及J3栋3楼;
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 罗满
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67
摘要:
本发明公开一种芯片出厂检验装置,包括机体底座、设置于所述机体底座的两端并驱动料盘同步旋转以水平送出芯片料带的支撑驱动机构、设置于所述机体底座上并用于在所述芯片料带的运输过程中检测芯片的出厂质量参数的检测机构,以及与所述检测机构信号连接、用于根据内置程序控制其检测流程的控制主机。本发明所提供的芯片出厂检验装置,通过支撑驱动机构驱动两端料盘旋转,对芯片料带进行卷绕,从而实现对芯片的运输效果,并通过检测机构在芯片料带的卷绕过程中实现对各个芯片的出厂质量参数的检测,同时在检测过程全程中辅以控制主机进行自动控制,快速、高效完成对芯片的批量出厂质量检验,提高质量检测精度,降低人工劳动量和人力成本。
公开/授权文献
- CN109003924A 一种芯片出厂检验装置 公开/授权日:2018-12-14
IPC分类: