掩膜板及蒸镀设备
摘要:
本发明提供一种掩膜板及蒸镀设备,所述掩膜板包括本体和设置在所述本体上的镂空部,还包括至少一个延伸部,所述延伸部与所述本体共面且与所述本体的至少一侧相连并沿第一方向延伸,至少部分所述延伸部与所述镂空部相对应,所述第一方向为与所述掩膜板的拉伸方向垂直的方向。在掩膜板使用过程中,掩膜板会沿第一方向内缩发生形变,延伸部可以补偿形变量,确保镂空部仍然保持在预设位置,从而提高掩膜板与背板的对位精度,降低产品混色不良的几率;本发明可以在产品制程中自动补偿掩膜板的形变量,无需中断制程,从而提高生产效率;而且,延伸部还可以在一定程度上降低掩膜板镂空部位置的设计精度要求,降低工艺成本。
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