一种水冷铜坩埚的测温系统
摘要:
本发明公开了一种水冷铜坩埚的测温系统,包括由多个分瓣体组成的铜坩埚,各分瓣体分别设有水冷通道;各分瓣体的外壁上分别设有凸台,各凸台分别设有与对应水冷通道相连通的螺纹通孔;各螺纹通孔分别配有与其螺纹配合的导热螺杆,各导热螺杆锁入对应的螺纹通孔,导热螺杆贯穿与其对应的螺纹通孔,且导热螺杆与对应螺纹通孔的间隙填充有隔热密封胶;各导热螺杆的外端部分别连接有温度传感器,各温度传感器分别与温度监控装置连接。本发明水冷铜坩埚的测温系统,其能对每个分瓣体水冷通道内的水温进行独立检测。
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