发明公开
- 专利标题: 一种水冷铜坩埚的测温系统
- 专利标题(英): Temperature measuring system for water-cooled copper crucible
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申请号: CN201810875956.4申请日: 2018-08-03
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公开(公告)号: CN109060187A公开(公告)日: 2018-12-21
- 发明人: 艾小东 , 朱兴发 , 李亚逸 , 陆钧
- 申请人: 苏州振湖电炉有限公司 , 苏州振吴电炉有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市吴中区北官渡路11号;
- 专利权人: 苏州振湖电炉有限公司,苏州振吴电炉有限公司
- 当前专利权人: 苏州振湖电炉有限公司,苏州振吴电炉有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市吴中区北官渡路11号;
- 代理机构: 江阴义海知识产权代理事务所
- 代理商 陈建中
- 主分类号: G01K13/02
- IPC分类号: G01K13/02
摘要:
本发明公开了一种水冷铜坩埚的测温系统,包括由多个分瓣体组成的铜坩埚,各分瓣体分别设有水冷通道;各分瓣体的外壁上分别设有凸台,各凸台分别设有与对应水冷通道相连通的螺纹通孔;各螺纹通孔分别配有与其螺纹配合的导热螺杆,各导热螺杆锁入对应的螺纹通孔,导热螺杆贯穿与其对应的螺纹通孔,且导热螺杆与对应螺纹通孔的间隙填充有隔热密封胶;各导热螺杆的外端部分别连接有温度传感器,各温度传感器分别与温度监控装置连接。本发明水冷铜坩埚的测温系统,其能对每个分瓣体水冷通道内的水温进行独立检测。
公开/授权文献
- CN109060187B 一种水冷铜坩埚的测温系统 公开/授权日:2023-11-14