- 专利标题： 操作用于将液态金属供给至蒸发器设备的装置的方法
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申请号： CN201780027325.0申请日： 2017-05-01
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公开(公告)号： CN109072410B公开(公告)日： 2021-05-07
- 发明人: E·策斯特贝尔根 , C·科芒德尔 , R·J·斯尼耶德斯 , E·P·M·巴克 , P·W·哈泽勒特 , D·A·哈密尔顿 , S·J·威狄斯 , T·D·凯泽
- 申请人： 塔塔钢铁荷兰科技有限责任公司
- 申请人地址： 荷兰费尔森-诺德
- 专利权人： 塔塔钢铁荷兰科技有限责任公司
- 当前专利权人： 塔塔钢铁荷兰科技有限责任公司
- 当前专利权人地址： 荷兰费尔森-诺德
- 代理机构： 中国贸促会专利商标事务所有限公司
- 代理商 许剑桦
- 优先权： 16168162.2 20160503 EP
- 国际申请： PCT/EP2017/060317 2017.05.01
- 国际公布： WO2017/191083 EN 2017.11.09
- 进入国家日期： 2018-11-02
- 主分类号： C23C14/16
- IPC分类号： C23C14/16 ; C23C14/24 ; H02K44/02
摘要：
本发明涉及一种操作用于将液态金属供给至在真空腔室中的蒸发器设备的装置的方法，其中，供给管从适于容纳液态金属的容器延伸至蒸发器设备，且电磁泵设置在供给管中，且阀设置在供给管中并在电磁泵和蒸发器设备之间。至少局部气体可透过的电磁泵用于该方法中，该电磁泵包封在压力控制罩中，其中，电磁泵和压力控制罩控制成使得蒸发器设备和供给管的填充和排出能够在不影响真空腔室中的真空压力的情况下完成。
公开/授权文献
- CN109072410A 操作用于将液态金属供给至蒸发器设备的装置的方法 公开/授权日：2018-12-21
IPC分类:
