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共焦位移传感器
Abstract:
提供共焦位移传感器,其具有改善的对低反射率测量对象的测量精度。其包括:从第一出射端输出光的第一光纤,投光用的光输入到其第一入射端;从第二出射端出射经由第二入射端输入的光的第二光纤,第二入射端与第一出射端相对;在经由第二出射端出射的检测光上引起轴向色像差并使检测光向测量对象会聚的光学构件;分光器,用于在经由光学构件照射于测量对象的检测光中使通过在聚焦于测量对象时反射而穿过第二出射端的检测光光谱分散;计算测量对象的位移用的测量控制部;使第二入射端可拆地连接到第一出射端用的光纤连接部;第一出射端与第二入射端间的折射率匹配材料。第二入射端和第一出射端以小于第二出射端的第一倾角的第二倾角倾斜。
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