- 专利标题: 一种基于钛片表面磁控溅射二硫化钼生物功能涂层的制备方法
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申请号: CN201811120636.4申请日: 2018-09-26
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公开(公告)号: CN109112474B公开(公告)日: 2020-09-04
- 发明人: 吴水林 , 李慕 , 刘想梅
- 申请人: 湖北大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号
- 专利权人: 湖北大学
- 当前专利权人: 湖北大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号
- 代理机构: 武汉河山金堂专利事务所
- 代理商 胡清堂
- 主分类号: C23C14/02
- IPC分类号: C23C14/02 ; C23C14/06 ; C23C14/35
摘要:
一种基于钛片表面磁控溅射二硫化钼生物功能涂层的制备方法,包括如下步骤:S1、对钛片表面进行碱热处理;S2、通过磁控溅射系统在钛片表面溅射二硫化钼涂层。其优点是:使用磁控溅射系统可在钛片表面形成均匀的二硫化钼图层;且磁控系统的工作气压、沉积时间、沉积速率等的设置,可有效控制二硫化钼图层的形貌及厚度;本发明设备投入少、实施难度小,制备方法简单易行,并且对环境并无太大影响。
公开/授权文献
- CN109112474A 一种基于钛片表面磁控溅射二硫化钼生物功能涂层的制备方法 公开/授权日:2019-01-01
IPC分类: