• 专利标题: 一种基于杠杆机构的差动质量块式隧道磁阻加速度计装置
  • 专利标题(英): Differential mass block type tunnel magnetoresistance accelerometer device based on lever mechanism
  • 申请号: CN201811049038.2
    申请日: 2018-09-10
  • 公开(公告)号: CN109142784A
    公开(公告)日: 2019-01-04
  • 发明人: 杨波李成高小勇王斌龙
  • 申请人: 东南大学
  • 申请人地址: 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
  • 专利权人: 东南大学
  • 当前专利权人: 东南大学
  • 当前专利权人地址: 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
  • 代理机构: 南京众联专利代理有限公司
  • 代理商 叶涓涓
  • 主分类号: G01P15/08
  • IPC分类号: G01P15/08 G01P15/105 G01P15/13
一种基于杠杆机构的差动质量块式隧道磁阻加速度计装置
摘要:
本发明提供了一种基于杠杆机构的差动质量块式隧道磁阻微加速度计装置,包括上层隧道磁阻传感元件结构、中层硅微传感器结构、下层布有电极引线的玻璃衬底结构;上层结构和中层结构分别通过两组锚点键合在下层结构上。本发明结合了MEMS技术与量子力学中的隧道磁阻效应,结构合理简单、易于加工、体积小、测量精度高、灵敏度高;利用磁场强度改变实现隧道磁阻效应,通过磁片位移使隧道磁阻元件周围磁场强度变化,线性度好、性能优;采用杠杆机构连接质量块与外部框架,当有加速度信号输入时,质量块与外部框架形成差动;两个隧道磁阻敏感元件反向对称布置,输出值反向偏离初始值,实现差分检测,有效抑制干扰引起的共模误差、增强装置可靠性。
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