发明公开
- 专利标题: 一种温度自补偿、宽量程的柔性无线无源声表面波压强传感器
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申请号: CN201811063005.3申请日: 2018-09-12
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公开(公告)号: CN109163842A公开(公告)日: 2019-01-08
- 发明人: 董树荣 , 许红升 , 轩伟鹏 , 陈金凯 , 骆季奎
- 申请人: 浙江大学
- 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- 专利权人: 浙江大学
- 当前专利权人: 浙江大学
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- 代理机构: 杭州天勤知识产权代理有限公司
- 代理商 曹兆霞
- 主分类号: G01L9/08
- IPC分类号: G01L9/08 ; G01L19/04
摘要:
本发明公开了一种温度自补偿、宽量程的柔性无线无源声表面波压强传感器,包括作为压电层的铌酸锂单晶压电薄膜;形成在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的至少一个声表面波传感单元,每个声表面波传感单元包括形成在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的单端谐振器、与所述单端谐振器电气连接的微带天线;覆盖在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的密闭盖,所述密闭盖与所述铌酸锂单晶压电薄膜形成密闭腔体。该柔性无线无源声表面波压强传感器以铌酸锂单晶压电薄膜作为压电层,使得其具有宽量程,能够检测0~4MPa范围内的压强,还具有温度自补偿功能,有利于提高柔性无线无源声表面波压强传感器的精度。