本发明公开了一种三维太赫兹波参量振荡器，包括泵浦源、GaAs晶体以及设置在GaAs晶体周围的反射镜和抛物面镜；泵浦源由KD*P晶体、偏振片、Nd:YAG激光器泵浦模块、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜和第六反射镜组成，泵浦源发出的泵浦光在由第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜和第六反射镜组成的谐振腔内谐振放大。在光学参量过程中，腔内的Stokes光和泵浦光可以循环使用，有效提高泵浦光利用效率；一束泵浦光可以产生六束太赫兹波，光学转换效率有效增大。