发明授权
- 专利标题: 附着物收集装置以及检查系统
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申请号: CN201780032937.9申请日: 2017-05-29
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公开(公告)号: CN109196329B公开(公告)日: 2021-08-17
- 发明人: 熊野峻 , 杉山益之 , 永野久志 , 生井诚 , 伊藤孝广
- 申请人: 株式会社日立制作所
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社日立制作所
- 当前专利权人: 株式会社日立制作所
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 张敬强; 金成哲
- 优先权: 2016-107972 20160530 JP
- 国际申请: PCT/JP2017/019951 2017.05.29
- 国际公布: WO2017/209065 JA 2017.12.07
- 进入国家日期: 2018-11-27
- 主分类号: G01N1/02
- IPC分类号: G01N1/02 ; G01N1/22
摘要:
为了稳定地从检查对象物剥离物质,其特征在于,具有喷出气体的喷出口(n)、具有喷出口(n)的箱体(B)、以及设置于箱体(B)的具备喷出口(n)的面且具有预定高度的支撑部(H)。并且,其特征在于,支撑部(H)是形成于箱体(B)的凸形状部。另外,其特征在于,支撑部(H)具有长方体形状,并且设置为随着朝向回收因气体而从检查对象物(C)剥离出的物质的回收口的方向,彼此距离变短。
公开/授权文献
- CN109196329A 附着物收集装置以及检查系统 公开/授权日:2019-01-11