本发明公开了一种气体流量调节方法，采用数字阀和针形阀对气体流量进行组合调节，数字阀开闭和针形阀开度通过PID算法控制，从而实现对气体流量的精确和稳定调节；该气体流量调节方法采用针形阀进行流量微调，能够在针形阀关闭和最大开度之间连续调节，从而避开数字阀不断进行进位和退位操作，能够消除数字阀的PID算法控制带来的控制振荡；能够提高流量控制分辨率，提高控制精度，采用本方法，利用针形阀流量控制的连续性，能够在有限的数字阀位数下，获得极高的控制分辨率，提高控制精度。