本发明公开了一种由金属铟和锡制备超细ITO粉的方法。直接以金属铟锭和锡锭为原料，经组成设计、合金化预熔后在热球磨机中于温度100～300℃的条件下进行气体氧化，生成氧化铟和氧化锡，同时利用球磨机的球磨作用使刚生成的氧化铟和氧化锡从合金熔滴表面剥离，并完成细磨，最终得到ITO粉，经气流分级后产出粒度均匀的ITO复合粉产品。本发明与传统工艺相比，具有反应流程短、产品粒度细、试剂消耗少等优点，解决了直接金属铟、锡在氧化过程中生成氧化膜导致难以进一步被氧化的问题。