发明公开
- 专利标题: 一种微型甲烷传感器及甲烷检测方法
- 专利标题(英): Miniature methane sensor and methane detection method
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申请号: CN201811084814.2申请日: 2018-09-17
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公开(公告)号: CN109239137A公开(公告)日: 2019-01-18
- 发明人: 马洪宇 , 孔祥林 , 陈鹏 , 杜亚娜 , 丁恩杰 , 赵小虎 , 王刚
- 申请人: 中国矿业大学
- 申请人地址: 江苏省徐州市大学路1号中国矿业大学科研院
- 专利权人: 中国矿业大学
- 当前专利权人: 中国矿业大学
- 当前专利权人地址: 江苏省徐州市大学路1号中国矿业大学科研院
- 代理机构: 南京瑞弘专利商标事务所
- 代理商 李悦声
- 主分类号: G01N27/14
- IPC分类号: G01N27/14
摘要:
一种微型甲烷传感器及甲烷检测方法,适用于甲烷检测、进一步的适用于煤矿井下的甲烷检测使用。该甲烷传感器包括一个加热元件、一个或多个测量元件,其加热元件单独加热到高温工作状态,与加热元件相独立的测量元件不施加外加电流或电压而直接测量电压用于检测瓦斯气体浓度。该甲烷传感器加工工艺与CMOS工艺兼容。其结构简单功耗低、灵敏度高、抗干扰性好、成本低。
公开/授权文献
- CN109239137B 一种微型甲烷传感器及甲烷检测方法 公开/授权日:2019-12-06