一种激光差动共焦层析定焦方法与装置
摘要:
本发明涉及一种激光差动共焦层析定焦方法与装置,属于光学成像与检测技术领域。该方法利用后置光瞳遮挡一半测量光束,使用分光瞳差动共焦探测系统对未被遮挡的测量光束进行探测,并利用差动共焦响应曲线的绝对零点来实现高精度层析定焦。将激光差动共焦技术与光线追迹技术有机融合,建立光线追迹及其补偿模型以消除各定焦表面参数之间的影响,并通过线性拟合绝对零点附近的数据实现快速触发定焦。本发明仅使用一路探测器即可得出差动共焦响应曲线,并利用差动共焦响应曲线的绝对零点实现层析定焦,系统结构及装调过程大大简化,同时避免了调整不准所引入的误差,定焦精度大幅提高。本发明将为共焦成像/检测领域提供一种新的技术途径。
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