本发明公开了一种含异质元素聚碳硅烷的制备方法。该方法以液态低分子量的聚硅碳硅烷和含异质元素的卤化物或有机络合物为原料，将原料置于高温高压反应装置中，在碱金属硅铝化合物催化剂条件下，抽真空后密封，然后升温至350-450℃密闭反应，反应结束后冷却至室温，放出反应体系内气体，得到含异质元素聚碳硅烷的粗产物。该方法能缩短反应时间、提高制备效率，且制备的先驱体支化和环状结构较少，Si-H含量较高，有利于先驱体可纺性的提高和陶瓷化过程中的氧含量和结构控制。