发明公开
- 专利标题: 一种快速等离子体镀膜方法及装置
- 专利标题(英): Rapid plasma film coating method and rapid plasma film coating apparatus
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申请号: CN201710587670.1申请日: 2017-07-18
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公开(公告)号: CN109267018A公开(公告)日: 2019-01-25
- 发明人: 卢彦辉 , 李世民 , 韩桂全 , 李昊旻 , 韩国辉 , 张超军 , 王建华 , 毕迎华 , 李旭旭 , 刘志远 , 刘庆 , 丁健刚
- 申请人: 平高集团有限公司 , 国家电网公司 , 西安交通大学
- 申请人地址: 河南省平顶山市南环东路22号
- 专利权人: 平高集团有限公司,国家电网公司,西安交通大学
- 当前专利权人: 平高集团有限公司,国家电网公司,西安交通大学
- 当前专利权人地址: 河南省平顶山市南环东路22号
- 代理机构: 郑州睿信知识产权代理有限公司
- 代理商 吴敏
- 主分类号: C23C14/32
- IPC分类号: C23C14/32
摘要:
本发明涉及一种快速等离子体镀膜方法及装置,通过在真空室的外部设置导电线圈,利用导电线圈产生的纵向磁场,将真空电弧的能量集中在阳极上,使阳极的材料蒸发,保证镀膜对象的快速镀膜。本发明不仅避免了阴极产生大微粒对膜质量造成的影响,且通过导电线圈产生纵向磁场的作用,可控制电弧能量集中注入于阳极,加速阳极触头的熔化,能使镀膜对象快速成膜。
公开/授权文献
- CN109267018B 一种快速等离子体镀膜方法及装置 公开/授权日:2021-12-17
IPC分类: