一种快速等离子体镀膜方法及装置
摘要:
本发明涉及一种快速等离子体镀膜方法及装置,通过在真空室的外部设置导电线圈,利用导电线圈产生的纵向磁场,将真空电弧的能量集中在阳极上,使阳极的材料蒸发,保证镀膜对象的快速镀膜。本发明不仅避免了阴极产生大微粒对膜质量造成的影响,且通过导电线圈产生纵向磁场的作用,可控制电弧能量集中注入于阳极,加速阳极触头的熔化,能使镀膜对象快速成膜。
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