- 专利标题: 一种直流至微波频率的透射电镜原位高频电学测试芯片
- 专利标题(英): Transmission electron microscope in-situ high-frequency electric test chip from direct-current frequencies to microwave frequencies
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申请号: CN201811448585.8申请日: 2018-11-30
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公开(公告)号: CN109270099A公开(公告)日: 2019-01-25
- 发明人: 车仁超 , 赵雪冰 , 张捷
- 申请人: 复旦大学
- 申请人地址: 上海市杨浦区邯郸路220号
- 专利权人: 复旦大学
- 当前专利权人: 复旦大学
- 当前专利权人地址: 上海市杨浦区邯郸路220号
- 代理机构: 上海正旦专利代理有限公司
- 代理商 陆飞; 陆尤
- 主分类号: G01N23/22
- IPC分类号: G01N23/22
摘要:
本发明属于电子显微镜测试技术领域,具体为一种直流至微波频率的透射电镜原位高频电学测试芯片,包括硅基片和绝缘层,以及在硅基片正面绝缘层上的金属电路;所述金属电路至少包含两个金属电极,分别用于接地和信号输入;金属电极靠近样品一侧用50–75Ω的并联电阻相连,以实现与微波信号输入端的阻抗匹配;正面绝缘层总厚度1.5–5.0μm,使得电极与硅片的寄生电容小于1pF;金属电极延伸至用于放置样品的窗口上或窗口外0–20μm;信号输入电极近样品端引出有测量电极,用于信号的原位测量。采用本发明的透射电镜原位测试芯片,可以实现0–6GHz内的任意波形信号下的原位测试,拓展了原位电镜的应用范围。
公开/授权文献
- CN109270099B 一种直流至微波频率的透射电镜原位高频电学测试芯片 公开/授权日:2024-04-19