• 专利标题: 一种直流至微波频率的透射电镜原位高频电学测试芯片
  • 专利标题(英): Transmission electron microscope in-situ high-frequency electric test chip from direct-current frequencies to microwave frequencies
  • 申请号: CN201811448585.8
    申请日: 2018-11-30
  • 公开(公告)号: CN109270099A
    公开(公告)日: 2019-01-25
  • 发明人: 车仁超赵雪冰张捷
  • 申请人: 复旦大学
  • 申请人地址: 上海市杨浦区邯郸路220号
  • 专利权人: 复旦大学
  • 当前专利权人: 复旦大学
  • 当前专利权人地址: 上海市杨浦区邯郸路220号
  • 代理机构: 上海正旦专利代理有限公司
  • 代理商 陆飞; 陆尤
  • 主分类号: G01N23/22
  • IPC分类号: G01N23/22
一种直流至微波频率的透射电镜原位高频电学测试芯片
摘要:
本发明属于电子显微镜测试技术领域,具体为一种直流至微波频率的透射电镜原位高频电学测试芯片,包括硅基片和绝缘层,以及在硅基片正面绝缘层上的金属电路;所述金属电路至少包含两个金属电极,分别用于接地和信号输入;金属电极靠近样品一侧用50–75Ω的并联电阻相连,以实现与微波信号输入端的阻抗匹配;正面绝缘层总厚度1.5–5.0μm,使得电极与硅片的寄生电容小于1pF;金属电极延伸至用于放置样品的窗口上或窗口外0–20μm;信号输入电极近样品端引出有测量电极,用于信号的原位测量。采用本发明的透射电镜原位测试芯片,可以实现0–6GHz内的任意波形信号下的原位测试,拓展了原位电镜的应用范围。
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