一种生长碳化硅单晶的热场结构
摘要:
本申请公开了一种生长碳化硅单晶的热场结构,属于碳化硅单晶的制备领域。本申请通过改进PVT法的热场分布,改变传统的通过上保温孔散热制造轴向温度梯度的方法,改为使用不同壁厚的坩埚及不同厚度的保温结构制造出轴向温度梯度,同时改变坩埚上侧的保温结构,从而制造出径向温度分布一致的热场结构;尤其可使得大尺寸坩埚内部热场径向分布均匀;由于电活性杂质元素随着温度梯度而生长进入晶体中,因此这种径向温度分布均匀的热场结构将引导电活性杂质元素沿径向均匀分布,进而制备得到径向电阻率一致、低应力的大尺寸高纯半绝缘碳化硅单晶、单晶衬底。
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