一种硅片裂片装置及硅片划片加工系统
摘要:
本发明涉及一种硅片裂片装置及硅片划片加工系统。硅片裂片装置包括基架、固定裂片吸盘、转动裂片吸盘、翻转机构、驱动机构和吸嘴组件;转动裂片吸盘设置在基架的上端,其靠近固定裂片吸盘的一侧与基架的上端转动连接;翻转机构安装在基架上,并与转动裂片吸盘下部传动连接,翻转机构可驱动转动裂片吸盘翻转;固定裂片吸盘上设有上下贯穿其的孔位,吸嘴组件安装在孔位处,驱动机构与吸嘴组件传动连接,并可驱动吸嘴组件向上移动伸至孔位的上方,或向下移动至其上端不高于孔位的上端,且可驱动吸嘴组件水平旋转。优点:能够实现硅片划线后的有效分片,并能调整一对分片的角度方位,利于后续生产加工,提高后续生产加工效率。
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