发明授权
- 专利标题: 一种硅片裂片装置及硅片划片加工系统
-
申请号: CN201811222638.4申请日: 2018-10-19
-
公开(公告)号: CN109333844B公开(公告)日: 2024-01-05
- 发明人: 卫哲 , 李志刚 , 艾辉 , 徐贵阳 , 雷合鸿
- 申请人: 武汉帝尔激光科技股份有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区华师园二路5号
- 专利权人: 武汉帝尔激光科技股份有限公司
- 当前专利权人: 武汉帝尔激光科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 430223 湖北省武汉市东湖新技术开发区九龙湖街88号
- 代理机构: 北京轻创知识产权代理有限公司
- 代理商 杨立; 陈振玉
- 主分类号: B28D5/00
- IPC分类号: B28D5/00
摘要:
本发明涉及一种硅片裂片装置及硅片划片加工系统。硅片裂片装置包括基架、固定裂片吸盘、转动裂片吸盘、翻转机构、驱动机构和吸嘴组件;转动裂片吸盘设置在基架的上端,其靠近固定裂片吸盘的一侧与基架的上端转动连接;翻转机构安装在基架上,并与转动裂片吸盘下部传动连接,翻转机构可驱动转动裂片吸盘翻转;固定裂片吸盘上设有上下贯穿其的孔位,吸嘴组件安装在孔位处,驱动机构与吸嘴组件传动连接,并可驱动吸嘴组件向上移动伸至孔位的上方,或向下移动至其上端不高于孔位的上端,且可驱动吸嘴组件水平旋转。优点:能够实现硅片划线后的有效分片,并能调整一对分片的角度方位,利于后续生产加工,提高后续生产加工效率。
公开/授权文献
- CN109333844A 一种硅片裂片装置及硅片划片加工系统 公开/授权日:2019-02-15