摘要:
本发明公开了一种具有定向运输功能的超疏水表面的制备方法,包括以下步骤:第一步,旋涂第一层紫外光刻正胶,进行第一次紫外光刻;第二步,旋涂第二层紫外光刻负胶,倾斜基底进行第二次紫外光刻;第三步,浸涂低表面能纳米颗粒;第四步,真空蒸镀亲水金属薄膜,生成所需定向运输轨道,得到具有定向运输功能的超疏水表面。本发明通过两次紫外光刻,一方面增大了微结构的比表面积,使得浸涂低表面能纳米颗粒后粗糙度足够,另一方面在进行第二次光刻时,有意倾斜基板进行曝光,得到具有一定倾斜角度的单向倾斜的结构,从而相当于预先给定了一个滚动方向。该预先给定的滚动方向结合后期蒸镀得到的亲水运输轨道,较好地实现了液滴的定向运输。
公开/授权文献
- CN109336048A 一种具有定向运输功能的超疏水表面的制备方法 公开/授权日:2019-02-15