发明授权
摘要:
本发明属于痕量气体检测技术领域,提供一种半开腔共振式光声池,包括壳体、谐振腔、缓冲室、光学玻璃窗片、声波传感器、进气口和出气口。该结构将传统的一阶纵向共振式光声池谐振腔一侧的缓冲室去除,将声波传感器置于此位置,另一侧的缓冲室保留,形成半开半闭式的光声池结构。声波传感器将产生的光声信号采集,通过分析处理获得待测气体的浓度信息。在缓冲室的端面安装有光学玻璃窗片,让激励光顺利通过,在靠近声波传感器的谐振腔位置设有进气孔,在缓冲室的侧壁设有出气孔。本发明的光声池提高了光声信号强度,气体的检测极限灵敏度更高;同时减小光声池的加工难度、气体的平衡时间和气样体积,为高灵敏度痕量气体的检测提供了新的解决方案。
公开/授权文献
- CN109374529A 一种半开腔共振式光声池 公开/授权日:2019-02-22