本发明涉及工业流程改造技术领域，尤其是一种尾气除臭净化工艺方法。该方法用于酸性水汽提装置脱臭尾气，所述尾气来自酸性水储罐的罐顶气及地下罐排气，包括三级组合脱臭，分别为水洗、溶剂吸收、固定床吸附；具体的工艺流程为：酸性水罐排放的恶臭尾气靠自身的微正压从罐顶排出，首先进入水洗塔脱除98％的氨及少量硫化氢，然后进入二塔串联的二级溶剂吸收塔，深度脱除硫化氢及有机硫，完成脱臭过程；三级固定床吸附塔作为备用，当溶剂吸收出现问题时投用，最后的净化气通过15m以上的排气筒高位放空。本工艺方法具有操作简单、安全可靠、结构紧凑、占地面积小、自动化程度高、维修方便，检修周期长、运行费用低等特点，能够高效率的净化尾气。