发明公开
CN109427566A 一种晶圆切割方法
审中-实审
- 专利标题: 一种晶圆切割方法
- 专利标题(英): Wafer cutting method
-
申请号: CN201710777285.3申请日: 2017-09-01
-
公开(公告)号: CN109427566A公开(公告)日: 2019-03-05
- 发明人: 黄涛
- 申请人: 晶能光电(江西)有限公司
- 申请人地址: 江西省南昌市高新开发区艾溪湖北路699号
- 专利权人: 晶能光电(江西)有限公司
- 当前专利权人: 晶能光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 330096 江西省南昌市高新开发区艾溪湖北路699号
- 主分类号: H01L21/268
- IPC分类号: H01L21/268 ; H01L21/304 ; H01L21/67 ; H01L21/78 ; B28D5/00
摘要:
本发明提供了一种晶圆切割方法,包括:S1提供待切割晶圆片,晶圆片中包括生长衬底和外延结构;S2沿晶圆片的切割槽,从晶圆片正面对外延结构进行一次切割直至露出生长衬底;S3沿一次切割的切痕,从晶圆片正面对生长衬底进行二次切割至预设深度;S4沿二次切割的切痕,从晶圆片背面对其进行劈裂,完成对晶圆片的切割,得到单颗管芯。以此避免现有技术中采用激光一次切割至指定深度的生长衬底的过程中,由大功率激光在晶圆沟槽表面聚集大量热量,因沟槽各类材料差异导致热量分布不均/散热异常等情况破坏管芯表面结构使芯片失效的情况出现。