从六氟化硫混合气体中提纯六氟化硫气体的装置及方法
摘要:
从六氟化硫混合气体中提纯六氟化硫气体的装置及方法,包括混合气体抽气管路、缓冲罐、稳压阀、质量流量控制器、第一吸附柱、第二吸附柱、存储罐和氮气排空管路;本发明通过第一吸附柱和第二吸附柱的交替工作和再生,可以达到连续提纯SF6气体的目的。第一六氟化硫传感器和第二六氟化硫传感器的功能是用来寻找合适的吸附和再生时间,让第一吸附柱和第二吸附柱既能达到排放的N2中SF6含量低于相关标准规定的排放要求,还能让再生的吸附柱中脱附的SF6气体浓度在90%以上;本发明设计新颖、结构简单,便于操作,可将GIS设备中SF6/N2混合气体中的SF6提纯到90%以上,使SF6回收再利用,节约SF6使用量,降低了运行成本。
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