可控制咖啡环效应的成膜方法、成膜装置及控制方法
摘要:
本发明公开了一种可控制咖啡环效应的成膜方法、成膜装置及控制方法,其通过设置图像采集装置,用于实时监测液滴沉积成膜过程,通过观察咖啡环形成图像,结合“咖啡环效应”的影响因素,在沉积过程中,根据实验要求,抑制或利用“咖啡环效应”成膜,最终达到了实时监测和变换的目的,制作复杂图形的薄膜。还可以通过上述方法,获取某一材料的最佳成膜参数,再以该参数进行成膜,最终制作出均匀复杂图形的薄膜。
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