发明授权
CN109435494B 可控制咖啡环效应的成膜方法、成膜装置及控制方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 可控制咖啡环效应的成膜方法、成膜装置及控制方法
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申请号: CN201811215916.3申请日: 2018-10-18
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公开(公告)号: CN109435494B公开(公告)日: 2021-04-09
- 发明人: 谢丹 , 李波 , 舒霞云 , 莫靖宇 , 许克宇 , 陈文奂 , 吴常健
- 申请人: 厦门理工学院
- 申请人地址: 福建省厦门市集美区理工路600号
- 专利权人: 厦门理工学院
- 当前专利权人: 厦门理工学院
- 当前专利权人地址: 福建省厦门市集美区理工路600号
- 代理机构: 泉州市潭思专利代理事务所
- 代理商 麻艳
- 主分类号: B41J3/44
- IPC分类号: B41J3/44 ; B41J3/46 ; B41J29/393
摘要:
本发明公开了一种可控制咖啡环效应的成膜方法、成膜装置及控制方法,其通过设置图像采集装置,用于实时监测液滴沉积成膜过程,通过观察咖啡环形成图像,结合“咖啡环效应”的影响因素,在沉积过程中,根据实验要求,抑制或利用“咖啡环效应”成膜,最终达到了实时监测和变换的目的,制作复杂图形的薄膜。还可以通过上述方法,获取某一材料的最佳成膜参数,再以该参数进行成膜,最终制作出均匀复杂图形的薄膜。
公开/授权文献
- CN109435494A 可控制咖啡环效应的成膜方法、成膜装置及控制方法 公开/授权日:2019-03-08
IPC分类: