热交换器升降机构以及晶体生长炉系统
摘要:
本发明公开一种热交换器升降机构以及晶体生长炉系统,包括热交换器、固定件、升降机构。热交换器的一端被构造为贯穿晶体生长炉的炉体与晶体生长炉中的坩埚连接并与坩埚发生热交换,热交换器被构造为与炉体的壁面可滑动地配合。固定件被构造为与晶体生长炉保持相对位置。升降机构与固定件连接并与固定件保持相对位置,升降机构与热交换器传动连接,升降机构被构造为驱动热交换相对于炉体滑动,以改变升降机构相对于炉体的位置关系。本申请提供的技术方案可以用于解决现有晶体生长设备中热交换器位置的相对变化,导致影响晶体质量的问题。
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