• 专利标题: 一种批量生成微纳米透镜的方法
  • 专利标题(英): Batch generating method for micro-nano lens
  • 申请号: CN201811181990.8
    申请日: 2018-10-10
  • 公开(公告)号: CN109445001A
    公开(公告)日: 2019-03-08
  • 发明人: 王玉亮曾炳霖
  • 申请人: 北京航空航天大学
  • 申请人地址: 北京市海淀区学院路37号
  • 专利权人: 北京航空航天大学
  • 当前专利权人: 北京航空航天大学
  • 当前专利权人地址: 北京市海淀区学院路37号
  • 主分类号: G02B3/00
  • IPC分类号: G02B3/00
一种批量生成微纳米透镜的方法
摘要:
本发明涉及微纳器件制备技术,特指一种应用微纳米液滴溶解聚合物薄膜批量制备微纳米透镜的技术方法和工艺过程,具体制备方法是:首先在基底上旋涂一层聚苯乙烯(PS)薄膜;将所述PS薄膜浸没在甲苯-乙醇混合溶液当中,然后在所述混合溶液中滴一滴去离子水滴,此时甲苯析出并溶解PS薄膜并大批量生成甲苯-PS混合液滴,然后所述甲苯-PS混合液滴中的甲苯会自行溶解到溶液当中,在基底上大批量得到PS材料的微纳米透镜。本发明制备过程简单,对所述微纳米透镜的尺寸,密度以及形状的可控性好。
公开/授权文献
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